| 扫描电子显微镜 |
| JP2006068474 2006-3-14 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜获取高离子检测效率即使它具有一个短WD和是合适的用于获得高分辨率。溶液 : 该扫描电子显微镜被构造成使得一个离子检测器用于检测一个离子是设置在所述进一步的电子源侧比第第一差分排气样品中的节流阀保持规定的真空室。从而，高分辨率通过一个半--中获得的透镜类型对象的透镜是由与检测的离子产生的兼容一个次级电子和一气体分子的碰撞。版权 : (C)2007，inpit |
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