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产业专利数据

晶片基板上的质谱仪

US10789091 2004-2-27 发明申请

2005-9-1

一种装置包括半导体或电介质晶片衬底以及位于晶片衬底上方的第一和第二多层结构。所述第一多层结构包括电离器或电子离子检测器。所述第二多层结构包括具有入口和出口的离子阱。所述电离器或电子离子检测器具有耦合到所述离子阱的一个端口的端口。