| 电子枪和电子显微镜 |
| US16568110 2019-9-11 发明申请 |
| 2020-4-16 |
| 一种用于电子显微镜或类似装置的电子枪，包括具有从单晶硅衬底的输出表面延伸的场发射器突起的场发射器阴极， 以及电极，其被配置为增强从场发射器突起的尖端部分发射的电子，以产生主电子束。 使用使SiC层中的氧化和缺陷最小化的工艺，将薄的，邻接的SiC层直接设置在场发射器突起的至少顶端部分上。 任选的栅极层可以被放置在场发射器尖端部分的高度处，略低于或略高于场发射器尖端部分的高度，以实现高发射电流和主发射束的快速和精确控制。 场发射器可以是p型掺杂的，并且被配置为在反向偏置模式下操作，或者场发射器可以是n型掺杂的。 |
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