| 区域扫描共焦显微镜(ASCM) |
| EP18199927 2018-10-11 发明申请 |
| 2020-4-15 |
| 本发明涉及一种区域扫描共焦显微镜和一种使用共焦显微镜对物体进行区域扫描共焦测量的方法。 该区域扫描共焦显微镜包括 : 图案生成单元，被配置为生成或产生包括多条线，例如多条直线平行线的线图案； 投影单元，包括 : 显微镜物镜，被配置为通过显微镜物镜将线图案投影到物体上； 其中投影或成像线图案的焦平面相对于显微镜的光轴倾斜一个倾斜角， 倾斜角等于或大于0°且小于90°，例如在30°和小于85°之间； 以及成像单元，包括二维图像检测器，该二维图像检测器被配置为在图像检测器的一个图像帧内捕获投影线图案的图像。 |
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