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皮米显微镜
CN201911127409.9 2019-11-18 发明申请
2020-4-10
一种皮米显微镜包括皮米照明光场产生机构,该皮米照明光场产生机构输出的皮米尺度的光探针照明待测物体,经皮米显微成像透镜、皮米显微探测器得到待测物体的皮米尺度信息。本发明可以开发出皮米光刻、皮米测量、皮米尺度非线性光学技术,开辟皮米飞秒光学、皮米阿秒光学等新兴学科研究方向,广泛地应用于半导体光刻、皮米物理、光与物质在皮米尺度相互作用等多个领域。
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