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一油扩散泵包括一挡板装置

WOUS07076742 2007-8-24 发明申请

2008-2-28

一个挡板包括一个多个的孔，其中在至少一个的所述多个的孔包括一收敛部分和一个发散部分被设置。在一些实施例，一挡板包括在至少两个同心锥可被使用。在其它实施例，该挡板可被用于在一油扩散泵，用于使用在一个分析装置; 这种作为一种质量光谱仪。