?所述的隔板基板和下patterne制造方法,其
 
JP2008522472  2007-6-19  发明申请

2010-1-7
 
  在本发明,不存在混合或空隙缺陷,每个像素在一平坦和均匀着色层所述衬底上可以形成与所述阻挡肋图案,以提供一及其制造方法。在所述本发明,一种衬底,所述基板,其被形成在一预定位置上的所述氟化合物是由一种材料的含有一个分区patternepatterne对象具有一基板与一分区,所述分区具有一个上部表面,一个时间--飞行的式2通过所述二次离子质谱仪(SIMS的TOF-)为在所述的情况下一负离子分析是在所有执行所述检测到的所述负离子的片段离子强度(m\/z)f-所述所述检测到的强度比的25%-60%。
 
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