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使用离子轰击的表面分析装置和方法

US11819200 2007-6-26 发明授权

2009-12-22

一种表面分析设备，包括 : 被配置为用具有不同尺寸的至少两种类型的离子轰击样品表面的单元；利用飞行时间二次离子质谱仪测量从样品表面发射的离子的质谱的测量装置；以及信息处理器，输出通过轰击不同类型的离子而测量的两个质谱之间的差值。