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设备和方法用于进行二次离子质谱法进行

WOEP08057477 2008-6-13 发明申请

2008-12-18

一个用于进行二次离子质谱法进行(sims)装置和方法本发明公开了一种样品的分析。所述的装置和方法，包括一气体场离子源作为所述源的一第一离子束指向以一样品以溅射粒子，其被可选地通过一激光束和加速离子化在一种二次离子光束向一个质量光谱仪。这种装置和方法允许获得质谱表征与一横向分辨率小于约1nm。