| 用于离子注入磁分析器装置和方法 |
| US12303485 2007-6-13 发明申请 |
| 2009-10-8 |
| 在一种磁分析装置中,高压绝缘(86,94)将磁体励磁线圈(40)、电源线(90)和冷却流体线(92)与扇形磁体的铁磁组件(26、28、30、32、34)隔离,并且线圈电源被设置在接地壳体(E)中。在一种磁分析装置中,高压绝缘(86,94)将磁体励磁线圈(40)、电源线(90)和冷却流体线(92)与扇形磁体的铁磁组件(26、28、30、32、34)隔离。 包含电力引线和冷却流体管线的套管(94)形成穿过磁体组件到线圈(40)的绝缘体,并且线圈被电绝缘围绕,提供与磁体组件的至少20kV的电绝缘。 励磁线圈包括至少6mm厚的绝缘材料的不透茧(86)内的交替线圈段(80)和冷却板(82)。 磁体组件的磁轭和磁芯构件(20、30、32、34)设置在真空壳体(20)的外部,而磁极构件(28)延伸穿过真空壳体并密封到真空壳体的壁。 离子减速器(60,61,62)位于外壳延伸部中,其电压电位与质量分析器外壳相同。 |