| 方法和系统用于捕获离子束粒子和聚焦离子束 |
| EP07775494 2007-4-13 发明申请 |
| 2009-1-14 |
| 一个聚焦的颗粒捕集器用于离子注入系统包括一个离子束源，其产生一个离子束，一束线组件，其接收所述离子束从所述离子束源包括一个质量分析仪，其选择性地通过选择离子，一聚焦静电的颗粒捕集器，其接收所述离子束和从所述离子束除去颗粒包括一种入口电极包括一个入口孔和偏置到一第一的基极电压，其中所述入口第一的表面电极是面向远离中心电极和被大致平坦的，其中所述入口电极第二的表面被朝向该中心电极和被凹，其中所述中心电极是位于下游的距离从所述入口电极包括一中心孔和偏置到一中心电压，其中所述中心电压为小于所述第一的基极电压，其中所述中心电极第一的表面是朝向所述入口电极和被凸; 其中所述中心电极第二的表面是面向远离所述入口电极和被大致平坦的，一个出口电极位于下游的距离从所述中心电极包括一个出口孔和偏置到一第二基电压，和其中所述出口第一的表面电极是朝向所述中心电极和被大致平的; 其中所述出口第二的表面电极是面向远离所述中心电极和被大致平坦的，其中一第一产生的静电场是从所述入口电极向所述中心电极和第第二静电场是从所述出口电极产生的朝向所述中心电极; 其中第二的基极电压是大于所述中心电压，和一个端站，其是下游从该束线组件和接收所述离子束。 |
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