| 技术用于监测和控制一个等离子体工艺 |
| WOUS07006244 2007-3-9 发明申请 |
| 2007-9-20 |
| 一个时间--飞行的离子传感器用于监测等离子体中离子物质包括一壳体。漂移管是位于所述外壳中。一种提取器电极被设置在所述壳体在所述漂移管的一第一端，以吸引离子从所述的等离子体。多个电极的是位于所述漂移管的一第一端靠近该提取器电极。所述多个电极的是偏置，从而使所述吸引离子的至少一部分以进入所述漂移管和与所述漂移管的漂移向一第二端。一个离子检测器被设置在靠近所述漂移管第二的端部。该离子检测器检测的到达时间与所述的至少所述部分相关联的所述吸引离子。 |
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