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原子力显微镜头及其制造方法

KR1020180115781 2018-9-28 发明申请

2020-4-7

根据本发明的扫描探针显微镜头不仅可用于导电原子力显微镜，而且可用于磁力显微镜的头，作为原子力显微镜3的具体例子。根据本发明的扫描探针显微镜头具有阶梯覆盖特性，高阶梯覆盖特性(磁力显微镜，MFM)和宽范围。 (导电-原子力显微镜，C-AFM)维微结构。