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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

带电束流倾倒和粒子吸引器

US11445677 2006-6-2 发明申请

2006-12-21

提供了一种用于减轻离子注入期间的污染的系统，方法和设备。提供了离子源，端站和位于离子源和端站之间的质量分析器，其中离子束从离子源形成并通过质量分析器行进到端站。一种离子束倾倒组件，包括粒子收集器，微粒吸引器，和屏蔽件与质量分析器相关联，其中粒子吸引器的电势可操作以吸引和约束粒子收集器内的污染粒子，并且其中屏蔽件可操作以屏蔽粒子吸引器的电势与质量分析器内的离子束的电势。