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一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法

CN201911329307.5 2019-12-20 发明申请

2020-4-3

本发明公开了一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法，包括以下步骤：在所述悬臂梁上涂有刚度调节层，形成悬臂梁?涂层复合件；通过改变所述刚度调节层的温度以改变悬臂梁?涂层复合件的刚度。能够实时调节探针刚度，不需频繁更换探针，减少探针损耗，调节范围大，工作范围广，稳定性好。