| 电极结构用于使用与带电粒子光束 |
| GB0722038 2007-11-9 发明申请 |
| 2009-5-13 |
| 本发明描述了所述一个电极的结构单元从多个单独的电极901-908的形成，该电池适合用于使用作为一个RF多极离子导，四极质谱滤波器，碰撞电池，或离子阱内的一个质谱分析系统。所述多个电极901-908被设置的相对于一个另一个以限定一个三维与各个的所述多个电极的几何结构位于在每个所述的顶点的该几何结构和其中每个所述电池的电极呈现一弯曲表面到所述电池的每个其它电极。所述电极可以具有一个球形体，超椭圆，双曲面或抛物面形状的。一种多个所述电极的单元可以被设置在一矩阵与相邻单元共享成分电极(见图13B)。本发明还公开了微制造的器件在其所述多个单独的电极(2206，2207，2212和2214在图22)被安装在对准特征在各个基片(22a～5b，2208，2213和2215)上的支撑微台架(2201和2205)。 |
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