一种包括挡板装置的油扩散泵
 
SG2009012857  2007-8-24  发明申请

2009-4-30
 
  提供包括多个孔的挡板,其中所述多个孔中的至少一个包括会聚部分和发散部分。 在一些示例中,可以使用包括至少两个同心锥体的挡板。 在其他示例中,挡板可以用在油扩散泵中,以用于分析装置,例如质谱仪中。
 
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