| 电子显微镜，电子显微镜装置的控制方法，电子显微镜检查方法 |
| JP2018183226 2018-9-28 发明申请 |
| 2020-4-2 |
| [问题]为了减轻操作者的负担，即使当对电子显微镜的经验很少时，操作者也可以确定最佳条件。 [解决方案]用电子束辐照的样品， 样品是设置在腔室中的样品， 电子束通过辐照从样品发射， 放射线检测部， 检测部检测放射线信号处理部进行处理， 根据检测信号处理部生成的检测信号， 所述成像部生成的图像具备显示器，处理器，检测信号量化量，以及试样的充电状态量化部，所述试样室通过量化处理的结果来确定最佳压力值，扫描电子显微镜。 图1[附图] |
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