| 散射的离子分析仪 |
| JP2007226906 2007-8-31 发明申请 |
| 2009-3-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种当散射的离子分析仪能够减少测量时间的改进的分辨率或所述传统技术的分辨率是所述相同。溶液 : 该散射的离子分析仪包括 : 一个抽屉件20具有一抽屉孔径21; 一用于偏转磁场形成单元30所述散射的离子导电的方向沿着一偏转表面S; 一种离子散射检测器40用于检测所述的位置离子; 一磁透镜50位于所述的抽屉件20之间的中间位置和所述磁形成单元30; 用于发散或聚焦散射的离子通过所述抽屉孔21沿该方向垂直于线C所述中心之间的连接所述孔的所述抽屉的孔21和所述离子束的照射位置在一偏转表面中的一个样品TS，其中所述磁透镜50发散或聚焦所散射的离子通过该抽屉孔径21，以便聚焦散射的离子，其被分散在所述相同的深度在所述样品T，该散射的离子通过所述磁形成单元30，通过一个离子检测器40。版权 : (C)2009，inpit |
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