| 磁分析器装置和方法用于离子注入 |
| WOUS07013850 2007-6-13 检索报告 |
| 2008-8-21 |
| 一磁分析装置中，高电压绝缘(86，94)隔离所述磁铁励磁线圈(40)，电源引线(90)和冷却流体线(92)从所述铁磁组件(26，28，30，32，34)一个扇区的磁铁，和所述线圈电源是一接地外壳中设置(E)。一套筒(94)，含有电电源引线和冷却流体线，形成一绝缘体通过所述磁体组件，以所述线圈(40)和包围所述线圈是由电绝缘从所述磁体组件提供电隔离的至少20kV。所述励磁线圈包括交替的线圈段(80)和冷却板(82)内的防渗茧(86)的至少6毫米绝缘的材料厚度。磁轭和芯部件(20，30，32，34)的所述磁体组件被设置在所述真空壳体的外部(20)，同时磁极构件(28)延伸通过并被密封到所述真空壳体的壁。一种离子减速器(60，61，62)是在一个壳体延伸在所述相同的电压电位作为所述质量分析仪的外壳。 |
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