| 质谱分析装置 |
| JP2003158815 2003-6-4 发明申请 |
| 2004-12-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一质量光谱测定仪能够改善或缓解所述带电的在一个孔部分和一狭缝部。溶液 : 该质谱分析装置包括一个中间狭缝一种离子源安装在所述的后级设置用于取离子为一中间腔室保持真空的一个电平高于所述的离子源，离子该中间狭缝导向安装在所述的后级，用于引导所述离子，一差动排气孔安装在所述用于以所述诱导后级的所述离子导离子为一种具有较高的真空区域，和一个入射光束的调节狭缝所述差分排气孔安装在所述的后级，用于调节所述形状的所述离子流。至少一个所述中间狭缝的，所述差分排气孔，和所述狭缝是隔离的入射光束调整从接地电位，以使以施加一电压。 |
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