| 用于监测和控制等离子体过程的技术 |
| US11371907 2006-3-10 发明申请 |
| 2007-9-13 |
| 本发明公开了一种原位离子传感器，用于监测等离子体室中的离子种类。 所述离子传感器可以包括 : 漂移管； 引出电极和设置在漂移管的第一端的多个静电透镜， 其中所述提取器电极被偏压以从所述等离子体室中的等离子体吸引离子， 以及其中所述多个静电透镜使所吸引的离子的至少一部分进入所述漂移管并在有限的发散角内朝着所述漂移管的第二端漂移； 设置在漂移管的第二端的离子检测器，其中离子检测器检测与所吸引的离子的至少一部分相关联的到达时间； 以及用于所述提取器，所述多个静电透镜，所述漂移管和所述离子检测器的壳体，其中所述壳体容纳所述离子传感器和所述等离子体室之间的差分泵浦。 |
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