| 具有自动磁极旋转的离子注入机的束流调谐 |
| US11523144 2006-9-19 发明申请 |
| 2008-3-20 |
| 一种用于控制离子束的离子注入设备，系统和方法，其中通常位于离子源和端站之间的质量分析器被配置成选择性地控制期望离子束的路径。 所述质量分析器包括入口杆机构和出口杆机构中的一个或多个，所述入口杆机构可定位成靠近所述质量分析器的入口，所述出口杆机构可定位成靠近所述质量分析器的出口， 其中入口极机构和出口极机构的位置通常确定所需离子束的路径和焦点。 控制器被配置为选择性地定位入口极机构和出口极机构中的一个或多个， 其中通常控制质量分析器出口处所需离子束的路径，其中所述控制可以基于所需离子束的一个或多个检测特性。 |
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