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鼠笼式氦质谱真空检漏仪离子源
CN200820128267.9 2008-7-14 实用新型
2008-12-17
一种鼠笼式氦质谱检漏仪的离子源,其中阳极5是由钼片经化学刻蚀后形成蜂窝状的网格,成圆筒状,阳极顶部与镍环6焊接,阳极的底部与圆片3焊接,最后与阳极支架点,其中网格丝的宽度是0.1mm,厚度为0.05,每个网格的距离1mm,阳极的外侧还具有灯丝4,灯丝4成圆形,灯丝4是氧化钇铱金灯丝,灯丝直径是0.08mm,绕制成圆形,圆周直径是14mm。
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