| 四极型质量光谱仪和真空装置具有其 |
| JP2003144541 2003-5-22 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一四极型质量光谱仪进行测量的压力。溶液 : 一压力检测部40用于一个压力测量装置是安装在容器11在其一个四极23被安装和所述四极23和一个压力检测部40通过屏蔽板131被划分和132。当质谱分析是通过激励进行一灯丝22和施加电压到所述四极23，电子; 光或辐射的热量排出从所述灯丝22通过该屏蔽板131和132被屏蔽，不到达所述压力检测部40，使得精确的压力进行测量。通风孔151和152被设置在所述屏蔽板131和132，和所述屏蔽之间的空间板131和132和一底表面的所述容器11被抽空。 |
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