| 活性测量装置，特别是二次离子质谱仪，具有吸气剂材料设置在真空室，其占据剩余气体从真空室，并因此提高了真空的真空室中; |
| DE102005042809 2005-9-8 发明申请 |
| 2007-3-15 |
| 本发明涉及活性测定仪(1)，特定的二次离子质谱仪中，与一真空室(10)用于所述接纳一个样品，其可以被检查的(4)。它是建议使所述真空室(10)中的一种吸气剂材料，从所述真空室(10)的其余部分气体内容和因此该真空被设置以在所述真空室(10)到样品上接近的改进，其有助于以增加所测量的精度和以所必要的测量周期的下降。 |
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