| 团簇离子束照射装置及使用该装置的磁头元件的制造方法 |
| US11173023 2005-7-5 发明申请 |
| 2006-3-2 |
| 在一种簇离子束照射装置中，包括一个利用飞行时间(TOF)质谱测量气体簇离子的尺寸和能量分布的装置， 在包括漂移管和电流测量仪的TOF测量仪之前的阶段中设置用于施加延迟电压的单元。 通过测量气体簇离子的大小和能量分布并调节电离条件，将具有预定能量和大小的簇离子提供给工作表面。 另外，控制离子传输装置中的压力与离子传输长度的乘积，以满足关系P×L=30/N2/3/E1/2Pa·m，其中n是用于辐照的气体簇离子的尺寸，e是气体簇离子的动能(Ev)。 |
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