| ·样品保持机构和用于制造扫描探针显微镜的探针的方法 |
| JP2015192365 2015-9-30 发明授权 |
| 2020-4-1 |
| 所要解决的问题是 : 本发明提供一种试样保持扫描机构，该试样保持扫描机构能够以高空间自由度获得试样的三维立体图像，同时消除由通常用于固定试样的基板引起的不利影响， 具有上述试样保持扫描机构的扫描探针显微镜， 以及一种用于样品保持/扫描机构的探针的制造方法。解决方案 : 样品保持/扫描机构1可最大限度地包括 : X轴方向探针组10，其包括在X轴方向上相对设置的两个探针11和12； Y轴方向探针组，包括在Y轴方向上相对设置的两个探针； Z轴方向探针组30，包括沿Z轴方向相对设置的两个探针31和32； 以及六个驱动机构40，用于分别至少在X轴，Y轴和Z轴方向上驱动六个探针。 当样品由一个或多个探针保持时，其它探针以三维方式在X轴，Y轴和Z轴方向上扫描样品。 使用探针将样品保持在一个点上，使得能够以高的空间自由度获得三维立体图像，而不受基底的影响。 |
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