| 高灵敏度的气体分析仪 |
| JP2004234010 2004-8-11 发明申请 |
| 2006-2-23 |
| 要解决的问题 : 以提高检测灵敏度和一个气体分析仪中的一个目标气体的测量精度用于测定一个所述气氛中包含的所述气体的量非常小或该等。溶液 : 所述气体分析仪是用于以重复所述气体确定一个非常小的量包含在该气氛或一种气体的流量等和构成待测信道用于允许所述气体在一种pulsative的方式，一四极型质量分析仪与一真空排气装置和一个孔，用于允许一部分该待测气体流动的所述离子源的所述四极型质量分析仪中从所述所述气体流道的中间部。这种气体分析仪是急剧在所述的检测灵敏度和测量精度提高目标气体通过反复再现该脉冲形状的所述待测气体的流动和防止吸附气体，例如蒸汽或等从被吸附在所述管壁或电极的所述四极型质量分析仪。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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