| 带电束流收集器和颗粒吸引子 |
| KR1020077030938 2006-6-2 发明申请 |
| 2008-2-22 |
| 一个系统，方法，和离子注入期间被提供用于减轻污染装置。一种离子源(112)，端站(117)，和质量分析仪(106)位于所述离子源和所述端站之间被提供，其中一种离子束(110)被形成从所述离子源和行进通过所述质量分析仪对所述端站。一种离子束流收集器组件包括一粒子收集器，颗粒吸引子，和相关联的屏蔽与所述质量分析仪，其中电所述颗粒吸引子的电位是可操作以吸引和约束所述粒子收集器内的污染颗粒，和其中所述屏蔽是可操作以屏蔽该电该颗粒吸引子的电位从一个离子束的电位在所述质量分析仪。kipo&wipo2008 |
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