| 用于监测和控制等离子体过程的技术 |
| US11678524 2007-2-23 发明授权 |
| 2008-11-18 |
| 一种用于监测等离子体中离子种类的飞行时间离子传感器，包括外壳。 漂移管位于壳体中。 提取器电极位于漂移管的第一端的外壳中，以便吸引来自等离子体的离子。 多个电极位于漂移管的靠近提取器电极的第一端。 所述多个电极被偏置，以使所吸引的离子的至少一部分进入漂移管并朝向漂移管的第二端漂移。 离子检测器靠近漂移管的第二端定位。 离子检测器检测与所吸引的离子的所述至少一部分相关联的到达时间。 |
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