| 一种程序升温脱附气体分析装置 |
| US10972327 2004-10-26 发明申请 |
| 2005-4-28 |
| 一种程序升温脱附气体分析装置，包括样品室1，样品室1内放置样品S， 一个红外加热炉(2)，用于加热设置在样品室(1)中的样品(S)， 一个测量室3，通过加热从样品S中解吸的气体被引入其中， 一个涡轮分子泵4，用于降低测量室3中的压力， 质谱仪(5)具有设置在测量室(3)内的气体检测部(5a)， 设置在样品室(1)和测量室(3)之间的中间减压室(6)，中间减压室(6)和样品室(1)相互连通的第一孔口(7)，和中间减压室(6)和测量室(3)相互连通的第二孔口(8)，以及出现在样品室(1)中的解吸气体通过第一孔口(7)，中间减压室(6)和第二孔口(8)引入测量室(3)。 中间减压室6或测量室3内的压力由压力调节单元控制固定。 |
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