| 二次离子质量分析仪及其使用方法。 |
| JP2007047784 2007-2-27 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以可靠地进行高精度的二次离子质量分析通过有效地去除外来物质该前端部成为污染的组件的一个二次离子检测装置。溶液 : 一气体被引入到真空室10通过一气体引入装置20和所述的附近一抽出电极4是局部地调整到一个低真空状态。在这种状态，产生等离子体11是通过辉光放电，通过施加预定电压到所述牵引电极4由等离子体产生机构30和所述牵引电极4被暴露到所述的等离子体11到被清洗。版权 : (C)2008，inpit |
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