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一种微机电质谱仪

TW095130182 2006-8-17 发明申请

2007-5-1

一种具有若干连接於一盖与一底座间之金属壁之微机电质谱仪, 该等壁界定复数个内室, 包括若干样气输入室、一离子发生器室、复数个离子光学室与一离子分离室。该离子分离室端部之一探测器阵列包括复数个沿两平行线安置、用於拦截该质谱仪中所产生之所有离子化束之V形探测器元件。