| 一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源 |
| CN200620172514.6 2006-12-22 实用新型 |
| 2008-6-18 |
| 本实用新型涉及一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源，由检漏口①、发射针腔②、钨针③、纳米针尖④、引出极⑤、聚焦极⑥和电路系统⑦组成，其特征在于钨针的尖端直径只有5～10μm，在钨针尖上还有纳米针尖，钨针置于发射针腔中，纳米针尖加正偏压、引出极加负电压，形成强电场，气体在检漏口进入发射针腔后向纳米针尖流动，在纳米针尖周围离化成离子，经引出极及电场引出到聚焦极，形成较强的聚集离子束流。本实用新型聚焦离子源具有聚焦好，灵敏度高，常温低温发射等优点，适用作各种高灵敏氦质谱检漏仪的离子源。 |
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