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利用多束粒子显微镜在检测器中对匹配的物体成像的方法

DE102018007455 2018-9-21 发明申请

2020-3-26

本发明涉及一种在多束粒子显微镜中借助探测器匹配对物体成像的方法。在根据本发明的第一实施例和根据第二实施例的基于主图像的修整中，借助于匹配重叠区域来执行。由于所使用的检测器和/或对比度值是自调节亮度值，并且它可以进行迭代处理以供使用。