| 用于二次离子质谱方法用于制造标准样品 |
| KR1020060129399 2006-12-18 发明授权 |
| 2008-5-29 |
| 目的 : 一种用于制造一个标准样品的方法用于一个二次离子质谱仪被提供到分析一膜形成所述标准样品的质量作为一种方法，其所述多个掺杂剂被注入到一个单晶片，即使如果该样品被改变。结构 : 一晶片衬底被提供。一种所述晶片衬底上形成的多个管芯到所述前向方向上。一种标准样品是通过所述多种掺杂剂注入到所述晶粒分别制造的。条件的所述掺杂剂注入被图案化。所述多个模具被分成四个区域，其中，四个标准样本被注入的制造所述四个掺杂剂到所述四个区域，所述掺杂剂是至少一个选自组B的组成; 如，P和SB。kipo2008 |
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