| 掺杂方法，掺杂装置以及掺杂装置的控制系统 |
| US10610755 2003-7-2 发明申请 |
| 2004-1-8 |
| 本发明提供了一种掺杂方法，用于控制掺杂量，以及具有控制系统的掺杂设备，所述掺杂方法能够响应于掺杂过程中离子种类的比率的变化来控制剂量。 测量离子束中特定离子的离子电流值。 一种离子检测器，其测量离子束中特定离子的离子电流值，并将所获得的监测信号输入到控制装置中。 将用于设定预定剂量的设定数据输入到控制装置中，将用于从监视信号获得实际剂量的转换数据通过存储装置输入到控制装置中。 控制装置基于输入的监视信号和转换数据执行数据处理，用于获得预定剂量的控制信号从控制装置输入到剂量控制系统，以将受控离子束掺杂到目标材料中。 |
微信公众号