| 通过低温多晶硅薄膜晶体管有源层的晶界扫描电子显微镜图像处理使用定量统计值的工艺质量验证方法和装置 |
| WOKR19012143 2019-9-19 发明申请 |
| 2020-3-26 |
| 提出了一种通过低温多晶硅薄膜晶体管有源层的晶界扫描电子显微镜图像处理使用定量统计值的工艺质量检验方法和装置。 一种通过低温多晶硅薄膜晶体管有源层的晶界扫描电子显微镜图像处理使用定量统计值的工艺质量检验方法， 本发明提出的方法包括以下步骤 : 提取薄膜晶体管的有源层的扫描电子显微镜图像； 通过提取用于所提取的图像的颗粒分布的数字数据来生成结构数据； 以及基于所生成的结构数据来分析和存储关于有源层的质量的统计值。 |
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