| 探针装置和包括该探针装置的光学显微镜 |
| KR1020180136692 2018-11-8 发明授权 |
| 2020-3-25 |
| 探针保持器，用于感测探针1的信息； 以及定位器，其连接到所述探针保持器的一侧，以调节所述探针保持器的位置，从而调节所述探针保持器的位置。 1.2。 探针座包括 : 1个探针； 以及定位器，其连接到探针保持器和探针1，以控制探针保持器和定位器之间的接触，并且探针保持器2和定位器连接。 对于探针，2和12控制探针保持器和定位器之间的接触。 根据本发明的探针装置1包括2个探针和12个探针的双探针，并且电阻测量装置感测与该装置接触的探针的电阻，从而最小化对探针的损害。 |
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