| 四极质谱仪与总压力测量电极，和真空装置使用它 |
| JP2005085044 2005-3-23 发明申请 |
| 2006-10-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一四极质谱仪能够进行高精度的压力的测量和高精确气体分析的同时，和一种装置分配与只使用所述四极质谱仪的电离真空计用于压力测量与被安装在一个真空装置。溶液 : 关于四极质谱仪Q用于测量部分由所述一种气体的压力强度分类在所述真空装置9从一离子电流的强度，这种四极质谱仪与一总压力测量电极被提供与所述的总压力用于测量一种离子密度测量电极1一划定的空间中的一种形成通过一栅电极2和一个离子聚焦电极4。该真空装置具有仅用于测量所述四极质谱仪Q安装在其上的所述分压强度分类通过该真空装置9中的气体的种类从所述离子电流的强度，和不具有所述电离真空计除了所述四极质谱仪。版权 : (C)2007，inpit |
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