| 注入器 |
| KR1020060070126 2006-7-26 发明申请 |
| 2008-1-30 |
| 目的 : 一种离子注入机具有一被提供以一种生产产量最大化的块单元以限定所述临界一种离子束的扩展尺寸在一个方向从一个扩展单元。结构 : 一离子注入机包括一个离子源(102); 质量分析仪(104)，一个加速单元(106)，一个扩展单元(108)，一个块单元(122); 和一个卡盘(120)。所述离子源产生一预定离子束(100)。所述质量分析仪中提取所述离子束与预定的质量从所述离子束。所述的加速度单元提取的所述离子束加速从所述质量分析仪。该扩展单元扩展所述加速单元中所述离子束加速在一个方向。所述块单元的定义该离子束的扩展所述临界尺寸在一个方向从所述扩展单元。该卡盘夹持一个晶片垂直于所述离子束穿过所述块单元。kipo2008 |
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