| 一种多束离子\/电子光谱显微镜 |
| WOSG07000218 2007-7-20 发明申请 |
| 2008-1-24 |
| 本发明是一种多束带电粒子仪，其可以同时聚焦电子和各种的正和负离子，例如镓，氧和铯离子，在所述相同的材料目标。另外，该仪器具有提供到两个次级电子和离子的同时捕获所述频谱。所述高度分散，该仪器是预期的高分辨率质谱仪部分，以检测和识别二次离子所述周期性表的整个范围上的物质，和还记录一个部分它们的发射能量的频谱。所述的电子能谱仪部分该仪器被设计以获取所述散射电子的整个范围，从所述低能量的二次电子通过向所述弹性背散射电子。 |
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