产业集群信息网

产业专利数据

电离系统的微制造真空接口

CN200710110694.4 2007-6-8 发明申请

2008-1-2

描述了一种将常压电离器接口连接到真空系统的平面元件。所述元件将静电光学器件和撇取器与可以充满预定压力气体的内室结合，并通过硅的光刻、蚀刻和连接构成。