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microengineered真空接口用于一电喷雾电离系统

GB0611221 2006-6-8 发明申请

2007-12-12

一平面部件用于连接一个大气压力的电喷雾电离器507以一真空系统，例如一质量光谱仪502是描述。所述成分结合的静电光学器件与一个内部腔室，其可与一气体填充在一规定的压力和由光刻是制造，蚀刻和键合的硅。分别构图和蚀刻半导体层被设置在一个堆，每个线中所定义的孔以提供一个信道通过所述的组件。