磁质量光谱仪
 
RU2007119593  2007-5-21  实用新型

2007-11-27
 
  磁质量光谱仪具有高灵敏度,[pozvol][yushchuyu]测量[T]小量的光的气体,诸如氢和氦,[soderzhashchikhs]所述固体之前测试。气体入口仪包含所述的系统,所述源的离子,分析所述的照相机,其具有输入和出口狭缝,离子收集器,该单元的[izmereni]和注册的离子电流,所述源极磁场之前,所述照相机的分析,初步和highvacuum的系统排空,所述源的[pitani]的单元的质量光谱仪。该质量光谱仪所述的设计参数 : [rassto][nie]X输入的所述waspsMi和出口之间的狭缝; 所述输入和出射狭缝的宽度σ和所述的所述输入和出射狭缝的高度H[opredel][yuts的]从所述关系 : 15[mm]~≤X≤100A,其中R-[razreshayushcha]质量光谱仪所述的能力,4。1A≤R≤(20a)。8.1[SAM]。[P]。公式的,1[Illinois]。,11P。
 
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