| 质量光谱仪 |
| JP2006076686 2006-3-20 发明申请 |
| 2007-10-4 |
| 要解决的问题 : 以提高工作的效率通过减少所述的次数重复质量分析根据一分析目标和提高检测灵敏度，和以使到测量详细的二维物质的分布由一高的空间分辨率，如果必要的。溶液 : 一驱动机构13b以在Z轴方向移动一个测试片级13以安装一测试件板14安装一测试件被设置，和所述的测试片级13被移动通过所述一种照射直径控制的控制部31，和通过改变所述的激光聚光光学系统22之间的距离和所述测试件15，一种激光辐照所述测试件15上的直径被改变。此外，当一种目标物质的所述分布中存在的所述的测试件15，其中所述位置是不清晰的需要被检查，首先，该测试片的整个区域被彻底地扫描在大扫描步骤宽度与一个大直径的激光照射，和该位置，其中所述目标物质的存在是找出大致。此后，所述激光照射直径被减小，仅该区域，其中所述目标物质被认为存在是在一小台阶宽度扫描彻底，和所述的详细物质的分布是获得。版权 : (C)2008，inpit |
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