| 电浆制程腔体漏气微型光谱即时侦测器 |
| TW095222366 2004-10-14 实用新型 |
| 2007-9-11 |
| 一种电浆制程腔体漏气微型光谱即时侦测器，由於现有仪器中，使用质谱法即时侦测真空腔体残存气体成份的残气分析仪，因电浆制程工作气压高且会影响电浆均匀性，不适用於电浆制程；氦气测漏仪则必须停机侦测无法即时侦测；而光谱仪虽能侦测电浆中体成份之特性光谱却无法提供是否漏气之警示。因此，本微型光谱即时侦测器利用漏入腔体之成份99％为氮气与氧气且其比例为4：1之特点，判别电浆制程是否漏气，并提供灯号及声音警示，机体本身具有体积小安装便捷，非侵入式即时侦测不影响线上机台正常运作之特点，能确实解决半导体、光电等高科技产业电浆制程设备之无法即时侦测腔体漏气问题。 |
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