| 具备双机械手的扫描电子显微镜样品台 |
| CN201911327317.5 2019-12-20 发明申请 |
| 2020-3-20 |
| 本发明公开了一种具备双机械手的扫描电子显微镜样品台，包括样品杯，在所述样品杯中对称设置有两个纳米操作机械手，两个纳米操作机械手可协同配合实现多种操作。本发明适用于Phenom桌上型电镜，可以实现电镜下的多触点的电学测量、材料表征检测、纳米级多点位同时精确定位等多种复杂动作与功能。其结构紧凑，设计巧妙，在功能多样化、微小空间样品台设计、机械手稳定性以及定位精度等方面均有突破。 |
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