| 扫描探针显微镜及转台模块 |
| KR1020190006129 2019-1-17 发明授权 |
| 2020-3-20 |
| 2。扫描探针显微镜的块结构和工作台单元； 根据本发明的一个实施例，包括 : 桌子单元； 用于支撑待观察的样品； 光源； 位于桌子单元的上侧； 以及位置检测器，用于检测从所述光源反射到所述探头的激光，AT，所述工作台单元位于所述工作台容纳空间2中并与所述旋转工作台1相关联地旋转；工作台容纳空间)。 以及位置检测器，用于检测从其反射的激光； 所述光源进入所述装置； 并且检测从扫描空间反射的激光，探针显微镜(2，)在内部，并且2)在工作台单元的内部。 |
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